高精度光柵尺的工作原理及應用

一、高精度光柵尺是什么?
定義： 光柵尺位移傳感器(簡(jiǎn)稱(chēng)光柵尺)，是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。
光柵尺位移傳感器經(jīng)常應用于機床與現在加工中心以及測量?jì)x器等方面，可用作直線(xiàn)位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數字脈沖，具有檢測范圍大，檢測精度高，響應速度快的特點(diǎn)。
二、高精度光柵尺的分類(lèi)、構造
1)高精度光柵尺分類(lèi)：
光柵尺位移傳感器按照制造方法和光學(xué)原理的不同，分為透射光柵和反射光柵。
透射光柵指的玻璃光柵
反射光柵指的鋼帶光柵
2)高精度光柵尺結構：
高精度光柵尺位移傳感器是由標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成。標尺光柵一般固定在機床活動(dòng)部件上，光柵讀數頭裝在機床固定部件上，指示光柵裝在光柵讀數頭中。
三、高精度光柵尺的工作原理及應用
常見(jiàn)光柵的工作原理都是根據物理上莫爾條紋的形成原理進(jìn)行工作的。 (關(guān)于莫爾條紋的原理，可參考相關(guān)文獻) 簡(jiǎn)單的說(shuō)：光讀頭通過(guò)檢測莫爾條紋個(gè)數，來(lái)“讀取”光柵刻度，然后再根據驅動(dòng)電路的作用，計算出光柵尺的位移和速度。相比例如軟件測量的方式，光柵尺讀數測量具有更高的精度。
我司zui近推出的一款DMH0745Scan測量顯微鏡就是利用光柵尺的工作原理來(lái)實(shí)現大尺寸器件在顯微鏡下的精密測量的。
四、高精度光柵尺的維護
1)盡可能外加保護罩，并及時(shí)清理濺落在尺上的切屑和油液，嚴格防止任何異物進(jìn)入光柵尺傳感器殼體內部。
2)定期檢查各安裝聯(lián)接螺釘是否松動(dòng)、定期使用干燥的潔凈布擦拭表。
3)光柵尺位移傳感器嚴禁劇烈震動(dòng)及摔打、踩踏，以免破壞光柵尺，如光柵尺斷裂，光 柵尺傳感器即失效了。
4) 不要自行拆開(kāi)光柵尺位移傳感器，更不能任意改動(dòng)主柵尺與副柵尺的相對間距，否則一方面可能破壞光柵尺傳感器的精度;另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對摩擦，損壞鉻層也就損壞了柵線(xiàn)，以而造成光柵尺報廢。
5) 應注意防止油污及水污染、硬物劃傷光柵尺面，以免破壞光柵尺線(xiàn)條紋分布，引起測量誤差。
6) 高精度光柵尺位移傳感器應盡量避免在有嚴重腐蝕作用的環(huán)境中工作，以免腐蝕光柵鉻層及光柵尺表面，破壞光柵尺質(zhì)量。